EDS + µXRF

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IXRF SYSTEMS propose une solution combinée EDS (Spectromètre de rayons X sélectif en énergie) + µXRF (Microfluorescence X) pour les microscopes électroniques à balayage de toutes marques. L'analyseur stocke les spectres complets de chaque pixel de la carte pour une analyse en ligne ou hors ligne.

Les échantillons peuvent être analysés simultanément avec le faisceau de rayons X émis de la source à micro spot et le faisceau électronique sans changement de position. Les deux méthodes d'excitation sont intégrées dans la suite logicielle d'analyse haut de gamme IRIDIUM Ultra. La technique de micro XRF est non destructive, et ne nécessite pas de dépôt conducteur sur l'échantillon.

 

Plusieurs sources sont proposées, selon les besoins :

-> la source fX avec un spot de 500µm

-> les sources Xb avec spot de 40µm ou de 10µm (optique polycapillaire) de puissance maximale 50 Watts

 

 

source

 

 

 

 

 

spectre

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Documents

IXRF SEM-XRF-Brochure
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